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更新時間：2025-11-06 
瀏覽次數：72根據您提供的信息，EBARA（荏原）ESA15-D 是一款專為抽取氫氣等輕氣體及滿足大容量室快速抽氣需求設計的干式真空泵?12。以下是從參考信息中整理的關鍵信息：
?應用場景?：特別適合用于 MO-CVD（金屬有機化學氣相沉積）等需要大流量抽取輕氣體（如氫氣）的工藝，也適用于 LCD 濺射設備、真空干燥過程和大負載鎖定應用?1。
?設計優勢?：對于抽氣速度在 10,000 L/min 及以下的型號，采用了緊湊化設計，并提供了耐腐蝕材料的選項，有助于減少設備占地面積和增強耐用性?12。
?技術規格?：屬于 ESA 系列，該系列包括抽氣速度從 1,400 到 10,000 L/min 的型號，以及排氣速度從 20,000 到 80,000 L/min 的型號，以滿足不同需求?1。
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