歡迎光臨深圳市京都玉崎電子有限公司！
咨詢電話
13717093188
13717093188
products
產(chǎn)品分類
更新時間：2025-10-29 
瀏覽次數(shù)：112?1. 核心特性?
?小型化設(shè)計(jì)?：專為高負(fù)荷半導(dǎo)體工藝優(yōu)化，體積緊湊，適合Subfab空間受限場景?1。
?無油運(yùn)行?：干式螺桿技術(shù)，避免油污染，適用于清潔排氣需求（如電子顯微鏡、分析設(shè)備）?2。
?高耐用性?：轉(zhuǎn)子懸浮結(jié)構(gòu)，無金屬接觸摩擦，壽命長且維護(hù)成本低。
?2. 性能參數(shù)?
?抽氣速率?：覆蓋多種工藝流程，具體型號如EV-X100N抽速達(dá)12673元/臺（參考價）?3。
?極限壓力?：可達(dá)3Pa以下，滿足半導(dǎo)體制造嚴(yán)苛真空要求。
?冷卻方式?：風(fēng)冷設(shè)計(jì)，無需額外冷卻水，節(jié)能且低噪音?2。
?3. 應(yīng)用領(lǐng)域?
?半導(dǎo)體制造?：晶圓刻蝕、離子注入等工藝?4。
?光伏產(chǎn)業(yè)?：太陽能電池生產(chǎn)中的真空環(huán)境控制?4。
?科研實(shí)驗(yàn)室?：適用于電子顯微鏡、真空鍍膜等清潔排氣場景?2。
CONTACT
辦公地址：深圳市龍華新區(qū)梅龍大道906號創(chuàng)業(yè)樓3樓TEL：0755-28578111
EMAIL：hy@tamasaki.com
掃碼微信聯(lián)系 
您的位置：
在線咨詢
返回頂部